本发明提供了一种微米级矩形波导的制备方法及系统，保持待加工品与水平方向呈倾斜放置，且倾斜方向与金刚石刀片刀刃第一侧边倾斜方向垂直，保持金刚石刀片竖直方向切割，形成第一划槽；将待加工品旋转，使其与水平方向呈倾斜放置，且放置方向与金刚石刀片刀刃第二侧边倾斜方向垂直，保持金刚石刀片竖直方向切割，形成第二划槽，实现两条划槽中间的预留位置形成矩形波导。本发明不需要将微米级铌酸
锂薄膜层切透，从而得到侧壁光滑，易加工的矩形波导。
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来源：北方有色网
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