本发明公开了一种能够同时实现高温度稳定性和高频的声表面波滤波器,结构包括压电基片、制作在压电基片表面的输入叉指换能器和输出叉指换能器,以及覆盖在压电基片、输入叉指换能器和输出叉指换能器上的波导层,压电基片为适合高频、正温度稳定性的晶体材料四硼酸
锂(切向为(0、47.3、90)),波导层为既有高压电耦合系数又具有负温度系数的ZnO。输入叉指换能器利用压电效应,在压电基片中激发声波完成电声转换。输出叉指换能器利用逆压电效应,接收声波,完成声电转换。通过本发明从滤波器结构方面的改进,通过控制ZnO的厚度改善乐甫波滤波器的温度稳定性,结合LBO的传播速度高的特点,实现高频滤波器。
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来源：北方有色网
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