本发明涉及用于固态微电池光刻制造、切单和钝化的方法和设备。提供一种用于制备
锂电池的方法和设备,提供第一片材,包括具有阴极材料、阳极材料、和隔开阴极材料与阳极材料的LiPON/电解质层的基板;去除第一材料的子部分以从第一片材分离多个电池单元。在一些实施例中,该方法进一步包括在该片材上沉积第二材料以覆盖多个电池单元;且去除第二材料的子部分以从第一片材分离多个电池单元。
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“用于固态微电池光刻制造、切单和钝化的方法和设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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