本实用新型涉及一种深紫外偏振棱镜，包括两个直角棱镜，两个所述棱镜分别为四硼酸
锂Li2B4O7晶体和石英SiO2晶体，两个所述直角棱镜具有相同切割角，两个所述棱镜晶体光轴方向平行，同时，两个晶轴方向与棱镜的入射面和出射面平行，两个所述棱镜通过空气隙、光胶或者胶水配合在一起，所述振棱镜用于深紫外波段到180nm，尤其是可以用于ArF光刻使用的193.368nm波长下，同时也可以用于可见光和近红外波段。通过四硼酸锂Li2B4O7晶体和石英SiO2晶体这两种材料设计新型的深紫外偏振棱镜，满足深紫外波段尤其是光刻波段193nm的使用，同时该棱镜还兼具可以在紫外、可见光和近红外使用，可以双通道使用，大视场角，具有较高透过率的技术特点，还具有高性价比的经济特点。
声明：
“深紫外偏振棱镜” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
796
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
