本发明公开了一种全透明的微流控声学体波
芯片及其制备方法。其产品由三块玻璃片和一块压电材料构成。三块玻璃片自上到下堆叠构成的驻波反应腔，上层玻璃片利用激光开有用于流体进出的孔口，并在表面孔口上面键合一块开有对应孔口的较厚的聚二甲基硅氧烷(PDMS)；中层玻璃片上由激光切割穿透玻璃制备了微米级别的沟道；下层玻璃片是完整的玻璃，用于封装腔室。压电材料采用铌酸
锂单晶，其上下表面均镀上一层透明掺
锡氧化铟(ITO)导电薄膜层并粘在谐振腔下表面，铌酸锂晶片两面经过银浆固化引出两根导线。本发明所制备的芯片完全透明，可视性极高，可用于细胞/微粒等样本的聚集、分离和操控；本发明的制备工艺简单，成本低廉。
声明：
“全透明的微流控声学体波芯片及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
1161
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
