本发明公开了一种全透明的微流控声学体波
芯片及其制备方法。其产品由三块玻璃片和一块压电材料构成。三块玻璃片自上到下堆叠构成的驻波反应腔，上层玻璃片利用激光开有用于流体进出的孔口，并在表面孔口上面键合一块开有对应孔口的较厚的聚二甲基硅氧烷(PDMS)；中层玻璃片上由激光切割穿透玻璃制备了微米级别的沟道；下层玻璃片是完整的玻璃，用于封装腔室。压电材料采用铌酸
锂单晶，其上下表面均镀上一层透明掺
锡氧化铟(ITO)导电薄膜层并粘在谐振腔下表面，铌酸锂晶片两面经过银浆固化引出两根导线。本发明所制备的芯片完全透明，可视性极高，可用于细胞/微粒等样本的聚集、分离和操控；本发明的制备工艺简单，成本低廉。
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来源：北方有色网
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