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复合基板和复合基板的制造方法

1116   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 23:23:21
提供一种在300℃的工艺后也能保持高电阻的复合基板、和复合基板的制造方法。本发明的复合基板的特征在于,其通过在压电材料基板上贴合晶格间氧浓度为2~10ppma的硅(Si)晶片作为支撑基板、在贴合后对压电材料基板进行减薄而制作。压电材料基板特别优选设为钽酸晶片(LT)基板或铌酸锂(LN)基板。
声明:
“复合基板和复合基板的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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