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晶片夹持装置

863   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 23:22:23
本发明提供一种晶片夹持装置。所述晶片夹持装置包括基板、固定单元和解锁机构,所述固定单元在所述基板的外周布设至少三个,支撑晶片与所述基板之间保持一定距离h,所述基板的一侧设有所述解锁机构,另一侧设有用于放置晶片的安装空间;所述解锁机构相对于所述固定单元的一端位移运动,使所述固定单元的另一端向所述安装空间靠近夹持或远离松开。本发明克服晶片背面静电吸力的影响,同时为静电的的消除提供了途径,解决了酸锂等晶片在注入工艺过程中产生静电导致取片困难的问题。
声明:
“晶片夹持装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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