一种
锂离子电池负极集流体材料，包括金属
铜箔，金属铜箔表面覆有
碳化硅层，碳化硅层厚度是0.003-0.009mm。采用物理气相沉积方法中的射频磁控溅射工艺制备材料，其工艺条件为：以碳化硅为溅射靶，金属铜箔为溅射基材，通入氩气，射频电源频率为30-50MHz，加速电压为300-500V，磁场为50-200G，气压为1-5mTorr，电流密度为30-50mA/cm，功率密度为20-40W/cm，溅射靶与基材之间的距离为50-100mm，基材的速度为20-30m/min。
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“锂离子电池负极集流体材料及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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