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铌酸锂调制器芯片的清洗系统

888   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 21:59:14
本实用新型提供一种铌酸调制器芯片的清洗系统,预冲洗装置,用于提供雾化清洗液以冲洗待清洗的芯片;丙酮浸泡装置,用于以丙酮浸泡经所述预冲洗装置的雾化清洗液冲洗后的芯片;酒精浸泡装置,用于以酒精浸泡经所述丙酮浸泡装置处理后的芯片;强氧化剂清洗装置,用于以强氧化剂清洗液浸泡经所述酒精浸泡装置处理后的芯片;除杂冲洗装置,用于提供雾化清洗液以冲洗经强氧化剂清洗装置处理后的芯片。本实用新型提供的铌酸锂调制器芯片的清洗系统,利用该清洗系统可改善芯片表面的清洁度,可有效提高芯片合格率。
声明:
“铌酸锂调制器芯片的清洗系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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