本发明公开了一种谐振式集成光学陀螺用多功能铌酸
锂芯片。本发明在铌酸锂波导基底上集成入射单元，用于对入射光起偏；相位调制单元，用于对起偏后的光进行调制得到调制光波；第一耦合单元，用于将返回光波耦合进探测器；第二耦合单元，用于对调制光波按一定比例分光；出射单元，用于将分光后的光起偏后输出到后续谐振腔。采用铌酸锂薄膜生长技术优化钛扩散铌酸锂波导的模场分布，减小其与光纤的耦合损耗；采用附加金属层技术实现对输入/输出光偏振态的控制，减小陀螺系统偏振噪声。本发明的芯片集成相位调制、偏振控制与耦合分光功能，体积小，耦合损耗小，偏振控制能力强，有助于提高谐振式集成光学陀螺的灵敏度与稳定性。
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来源：北方有色网
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