本申请涉及传感器的技术领域，尤其是涉及一种基于铌酸
锂薄膜的片上集成三轴陀螺组件，其包括发光单元、铌酸锂薄膜
芯片和尾纤单元；所述发光单元与所述铌酸锂薄膜芯片耦合，所述铌酸锂薄膜芯片与所述尾纤单元耦合；所述发光单元用于发射光波；所述铌酸锂薄膜芯片用于对所述光波进行分束、调制及探测；所述尾纤单元用于所述光波传播。本申请具有减小三轴陀螺的体积的效果。
声明：
“基于铌酸锂薄膜的片上集成三轴陀螺组件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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