本发明涉及一种基于铌酸
锂薄膜的宽带行波电光调制器，该调制器包括：基底、铌酸锂薄膜、光学波导、缓冲层以及金属电极。所属基底采用石英晶片；所述铌酸锂薄膜具有单晶结构且厚度为4至10微米；所述光学波导采用钛扩散波导或退火质子交换波导；所述缓冲层采用氧化硅或
氧化铝薄膜；所述金属电极采用行波电极结构，金属电极的火线与地线对称地位于光学波导的两侧。本发明的有益技术效果在于：可同时实现铌酸锂电光调制器的折射率匹配与阻抗匹配，提高器件的工作带宽，且未增加器件的半波电压，可有效地降低铌酸锂宽带电光调制器的生产成本。
声明：
“基于铌酸锂单晶薄膜的宽带行波电光调制器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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