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大尺寸铌酸锂晶片及其加工方法

757   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 20:57:26
本发明公开了一种大尺寸铌酸晶片的加工方法,包括以下步骤:步骤1:通过制备富锂多晶料、熔化、提拉生长工艺,得到大尺寸铌酸锂晶体;步骤2:将切割后的大尺寸铌酸锂晶片研磨,双面减薄,得到表面具有粗糙结构的大尺寸超薄铌酸锂双面减薄片;然后,置于抛光装置中进行处理,得到大尺寸铌酸锂晶片,本发明通过制备富锂多晶料、熔化、提拉生长、研磨,双面减薄和抛光等工艺制备得到大尺寸铌酸锂晶片;该大尺寸铌酸锂晶片的加工方法具有工艺简单,一次抛光,批量生产,抛光效率高,生产的铌酸锂晶片表面平坦度高。
声明:
“大尺寸铌酸锂晶片及其加工方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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