一种含有掺杂工艺的
铜锌锡硫薄膜制备方法，涉及光电材料及
新能源材料领域，该方法可以有效解决铜锌锡硫薄膜
太阳能电池吸收层即铜锌锡硫薄膜的结晶性较差的问题，其步骤包括：a、提供一衬底；b、将铜、锌、锡三种金属沉积在衬底上，形成金属前躯体；c、在金属前躯体上沉积含有锑元素的膜层作为掺杂层；d、将金属前躯体及掺杂层在含硫的气氛下热处理，此过程中硫元素与铜锌锡形成铜锌锡硫薄膜。该方法改善了铜锌锡硫的结晶性，降低了结晶温度，提高了薄膜的质量，同时还降低了工艺难度和成本，具有很好的推广利用价值。
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来源：北方有色网
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