一种等离子体增强化学气相沉积法制备多孔碳膜的方法，属于
电化学和
新能源材料领域，该方法步骤包括：将清洗后的泡沫
镍材料放入等离子体增强化学气相沉积设备的基片台上；抽真空，并加热设备中基片台；开启等离子体增强化学气相沉积设备；向等离子体增强化学气相沉积设备中通入工作气体，其工作气体包括放电气体、碳源气体；开始放电，电离工作气体，产生等离子体，分解碳源气体，在泡沫镍材料上沉积多孔碳膜；放电结束，关闭设备降温。本发明制备的多孔碳膜形貌及孔径可控，具有相同比表面积，与基体的结合性、重复性好，该多孔
碳材料作为超级电容器的电极材料表现出良好的双电层特性。简化了工艺步骤、降低了成本、同时减轻了对环境的污染。
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来源：北方有色网
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