本发明属于光电材料新能源领域,特别涉及TiO2/WO3复合薄膜的制备方法。首先使用双极脉冲磁控溅射在基底上溅射TiO2薄膜,然后在溅射好的TiO2薄膜上二次沉积WO3薄膜,将获得的复合薄膜进行退火处理即得TiO2/WO3复合薄膜。本发明采用双极脉冲磁控溅射法,制备灵活、可控性好,有望在工业中形成规模化生产。
声明：
“TiO2/WO3复合薄膜的制备方法及所得薄膜的应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
907
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
