本实用新型属于碳碳
复合材料生产领域，具体涉及一种立式大型化学气相沉积炉的补气装置，包括若干个沿炉体轴向间隔设置在所述沉积炉沉积室侧壁的补气单元，每个补气单元包括若干个沿沉积炉沉积室的周向间隔设置的补气结构，所述补气结构包括补气管和导气管，在补气管上沿轴向间隔设置有若干贯穿补气管管壁朝向沉积室中部的气孔，工作时，炉外气源内碳源气体依次通过导气管和补气管向沉积室内增补碳源气体，使远端的产品也能得到均匀的、满足工艺需求浓度的碳源气体，从而使处于远端的产品在同样时间内获得同样的致密效果，达到沉积室内气氛均匀性的目的，实现了产品致密的均匀性，避免同一炉产品在致密效果上会出现较大的差异。
声明：
“立式大型化学气相沉积炉的补气装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
1176
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
