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用于将锭线锯切片成晶片中的碳纳米管加强线锯梁

714   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 17:50:07
一种用于从锭切晶片——例如从单晶锭或多晶硅锭切半导体晶片——的设备中的线锯梁。该线锯梁可由包括热固性聚合物树脂和碳纳米管的聚合物复合材料制成。
声明:
“用于将锭线锯切片成晶片中的碳纳米管加强线锯梁” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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