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沉积源蒸发设备

1096   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 17:45:21
公开了一种沉积源蒸发设备。该沉积源蒸发设备包括:坩埚组,用于容纳沉积源;喷射单元,位于坩埚组上;加热器,位于坩埚组中用于加热坩埚组以通过喷射单元蒸发沉积源;以及防热辐射板,围绕喷射单元以阻挡喷射单元的侧面的热辐射。坩埚单元和防热辐射板中的至少一个包括碳纤维复合材料
声明:
“沉积源蒸发设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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