本发明涉及一种新型的复合金属诱导制备以及催化处理
石墨烯获得石墨烯网格结构，利用该网格结构制备
石墨烯晶体管，属于
纳米材料微电子领域。其技术特征在于：采用复合金属薄膜，利用化学气相沉积法生长石墨烯，石墨烯层数为1-20，采用小孔模板衍射辅助氧化钛光催化方法，获得石墨烯网格结构，利用该网格结构作为沟道层，制备石墨烯场效应管晶体管。本发明工艺简单，过程易控制，导电性能优异，制备成本低，适合于低维
复合材料及微纳电子领域。
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“新型石墨烯材料及其器件的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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