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用于预制体增密的沉积装置及装炉结构

825   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 17:26:08
本申请涉及碳碳复合材料化学气相渗积技术领域,公开了一种用于预制体增密的沉积装置及装炉结构,待增密预制体与内限流筒的侧壁之间形成限流通道,待增密预制体顶部具有过流口,在炉腔内形成自所述炉腔入口依次通向限流通道、过流口和炉腔出口的限流路径。沉积过程中炉腔内热场由外而内温度逐渐降低,而沉积速度随温度增加呈指数增加,碳源气体首先由内表面渗透至温度较高的外侧进行沉积致密化,待增密预制体内部温度不断提高,沉积时沉积面不断向内推进,整个待增密预制体被完全沉积,避免待增密预制体表面结壳,待增密制体增密密度均匀。此外,通过上述限流路径可有效压缩碳源气体活动空间,增加活性基团碰撞几率,从而大大提升沉积效率。
声明:
“用于预制体增密的沉积装置及装炉结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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