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磁性封装微机器人及其制备方法

1127   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 17:14:54
一种生物相容性封装的磁性微机器人的制备方法,包括:提供硅片,在硅片上制备Omnicoat牺牲层;在Omnicoat牺牲层上旋涂SU?8光刻胶形成SU?8基层;得到第一预制层结构;进行烘烤;进行图形化曝光;在65℃烘烤2分钟,然后在95℃烘烤2分钟;在SU?8基层上涂覆磁性复合材料,进行烘烤;进行图形化曝光;在65℃烘烤2分钟,然后在95℃烘烤2分钟;进行显影操作, 去离子水清洗,风干;涂覆SU?8光刻胶;进行烘烤;图形化曝光;在65℃烘烤2分钟,然后在95℃烘烤2分钟;进行显影操作,去离子水清洗,风干;得到生物相容性封装的磁性微机器人。上述磁性封装微机器人生物相容性和耐化学性较好。
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“磁性封装微机器人及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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