本发明涉及一种能够在室温下检测低浓度NO2的气敏元器件及其制备方法。制备方法包括：(1)多层Ti3C2MXene的合成；(2)TiO2/Ti3C2的合成；(3)TiO2‑x/Ti3C2的合成；(4)气敏元器件的制作。本发明目的是为了解决现有MXene基材料气敏性差的问题，该制备方法工艺简便、成本低，利用该方法制备的TiO2‑x/Ti3C2
复合材料中TiO2具有特殊的高能高活性的{001}晶面和丰富的氧空位，且复合材料具有肖特基异质结构，在室温下对10ppmNO2的响应(ΔR/Ra)分别高达4.6，远超于现有的MXene基气敏材料。此外，TiO2‑x/Ti3C2还具有良好的循环响应。本发明为构建具有特殊晶面和富含氧空位的MOS/MXene气体敏感材料提供了有效的方法，进一步推动气敏技术的发展。
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“能够在室温下检测低浓度NO2的气敏元器件及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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