本发明具体涉及一种冷壁流化床的制备，并通过制备的冷壁流化床制备颗粒状
多晶硅的的方法，属于
光伏技术领域。本发明制备的冷壁流化床，选用特殊高温
复合材料，提高设备耐高温、耐腐蚀、耐压性能；此种复合材料密度低，韧性强，不易破碎，易于安装。此种复合材料通过多次镀层、封闭，大大降低高温腐蚀气氛中对颗粒硅产品的污染，保证颗粒硅产品纯度达到6N。本发明采用高频感应加热方式加热流化气体和小颗粒硅粉：以高温H2和高温硅粉加热原料三氯氢硅气体，使其在小颗粒硅粉表面迅速达到反应温度，反应主要在颗粒硅粉表面发生，大大提高了三氯氢硅沉积颗粒硅产品的效率。
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来源：北方有色网
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