本发明在陶瓷材料与金属材料使用类似粘结薄膜的黏着材料时，提供能够更好进行连接作业的
复合材料的制造方法及静电卡盘的制造方法和黏着材料。覆盖膜25及基膜27，具有水溶性，黏着剂23，具有不溶于水（或者难溶于水）的性质。因此，陶瓷侧部材31制造时，保持真空吸着台29黏着膜21的覆盖膜25，去除溶解于水，使第1黏着剂层23a的基膜27，去除溶于水，使第2主面A可以露出。
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“复合材料及使用该材料的静电卡盘的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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