本发明一种真空环境下
复合材料尺寸变化量测量装置，包括激光头、真空罐、光学窗口、温控舱、分光镜、第一线性反射镜、第二线性反射镜、被测件；激光头放置于真空罐外，在真空罐的一侧开有光学窗口，控温套、分光镜、第一线性反射镜、第二线性反射镜、被测件均放置于真空罐内；分光镜、第一线性反射镜、第二线性反射镜、被测件均放置在控温套内；分光镜、第一线性反射镜、第二线性反射镜均放置于被测件上；激光头、光学窗口、分光镜、第二线性反射镜同轴放置。本发明能够实现1nm分辨率的长度测量，可以满足目前航天遥感器的高精度装调要求。
声明：
“真空环境下复合材料尺寸变化量测量装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
857
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
