本申请描述了一种托架结构,其用于在衬底通过将托架穿过由上下接近头形成的弯液面而被处理时支撑该衬底。所述托架包括框架,具有尺寸适合于容纳衬底的开口和用于在开口内支撑衬底的多个支撑销,所述开口略大于衬底,使得衬底与开口之间存在间隙。所述框架包括
复合材料芯、顶片、底片、顶片与芯之间的芳族聚酰胺结构层和底片与芯之间的第二芳族聚酰胺结构层。所述顶片和底片由高分子材料形成。还描述了一种制造方法。
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“用于湿法清洗设备的混合复合材料晶片托架” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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