本发明公开了一种红外波段光阑复合膜、制备方法及
复合材料，属于光学薄膜制造技术领域。本发明红外波段光阑复合膜，具有双层膜结构，第一层为二氧化铪膜层，第二层为铬膜层，与氟化钙基底的结合力强，内应力小，采用照相复制法制备红外光阑工艺性好。本发明红外波段光阑膜层的制备方法，采用蒸镀的方式镀制二氧化铪膜层和铬膜层，而且分两次镀制铬膜层，确保后序采用照相复制法制备光阑线条平整光滑，无透光点，本发明制备方法工艺流程简单，易于操作实现，适于工业化推广应用。本发明红外波段光阑复合材料，基底材料为氟化钙，内层膜为二氧化铪膜层，外层为铬膜层，铬膜层与氟化钙的结合能力强，工艺性能好。
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来源：北方有色网
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