本实用新型属于高新技术领域,具体涉及一种
复合材料的原子层淀积反应器。包括玻璃或不锈钢的反应外管,内部的若干玻璃和不锈钢混合组成或全不锈钢组成的固态源进气管,复合材料的气流控制毛细管等部件。过去反应管采用玻璃或石英制作,结构比较脆弱,本实用新型采用复合材料的优点是:易损部件用不锈钢材料后,坚固耐用,而且精度高。特别是固态源进气管结构细长脆弱,采用玻璃或石英制作极易损坏。本实用新型采用不锈钢材料制作固态源进气管后效果非常显著;复合材料的气流控制毛细管采用不锈钢毛细管和外层的聚四氟乙烯等塑料组成,气流控制精度非常高,无对外泄漏,坚固耐用。
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来源：北方有色网
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