本发明涉及一种集成有碳-
碳纳米管复合材料微铰链结构的XY微型水平仪，所述XY微型水平仪的铰链部分为碳-碳纳米管复合材料，XY微型水平仪与积层PZT驱动器相集成为一个基础微型水平仪。本发明采用响应快、驱动力大、高功率密度的积层PZT作为驱动器和弹性系数较低且无机械延滞效应的新型复合材料作为微铰链部分，确保了这一高性能集成XY微型水平仪的高可靠性和极大的应用前景。
声明：
“集成有碳-碳纳米管复合材料微铰链结构的XY微型水平仪的设计及微制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
797
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
