本发明公开了一种制备三维超导微纳器件的方法，涉及三维微纳器件技术，其包括步骤：(1)超导电极接触块及/或连线的生长；(2)将步骤(1)中加工好的样品的放置与固定；(3)将固定于样品托上的样品放入离子束设备真空腔内的样品台上；(4)在超导电极接触块或连线上自由站立的超导微纳米的生长；(5)对(4B)中制备的微
纳米材料的形变操纵；(6)得成品。本发明的制备方法，基于离子束辐照对自由站立的纳米材料的形变操纵来制备不位于支撑衬底平面内的超导微纳结构，形成与支撑衬底平面成一定夹角的三维超导微纳器件，工艺灵活、效率高、可控性好。
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来源：北方有色网
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