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真空干燥装置和真空干燥方法

915   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:10:02
本申请提供了一种真空干燥装置,包括真空腔室及位于真空腔室内部的支撑件,还包括惰性气体供气口,用于向所述真空腔室内部通入惰性气体。利用本申请提供的真空干燥方法,在器件基板放入真空腔室之前或者干燥完成后,保证整个腔室内部为惰性气氛,有利于后续抽真空干燥过程顺利进行,器件基板上功能墨水的成膜均匀性也得到提高。
声明:
“真空干燥装置和真空干燥方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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