本发明提供一种可以在短时间内对处理室内的惰性气体和大气进行有效置换的处理室装置的大气置换方法、处理室装置、包括该处理室装置的电光学装置以及有机EL装置。是将构成处理室(11)内的惰性气体环境和大气进行置换的处理室装置(3)的大气置换方法,开放处理室(11)的排气通道(102),同时关闭惰性气体的气体供给通道(138),强制向处理室(11)内送入外部气体,将处理室(11)内的惰性气体和外部气体置换。
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“处理室装置及其大气置换方法及包括该装置的电光学装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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