本发明提供一种具有NbN SNS约瑟夫森结的超导集成电路及其制作方法，该超导集成电路包括衬底、功能层、第一隔离层、第一配线部、第二配线部、第二隔离层、第一接地层及第二接地层，其中，功能层位于衬底上表面且包括底电极、结势垒层及顶电极，第一隔离层覆盖衬底上表面及功能层显露表面且设有第一接触孔及第二接触孔，第一配线部及第二配线部分别填充第一接触孔及第二接触孔，第二隔离层覆盖第一隔离层上表面及第一配线部和第二配线部显露表面且其中设有第一通孔及第二通孔，第一及第二接地层分别填充第一通孔与第二通孔。本发明通过采用较厚的金属氮化物作为结势垒层，提升了约瑟夫森结单元的临界电流密度，提高了电路的最高工作频率。
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“具有NbN SNS约瑟夫森结的超导集成电路及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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