一种多功能探针头，由探针、弹簧片、套筒、导线 等组成，采用耙形弹簧片并用环氧定位环安装定位的 结构，使弹簧片与探针达到准确对位，探针恒压可靠， 从而提高探针头的测量精度和保护被测物体表面不 易损伤。 本实用新型结构精密，耙形弹簧片占用平面长度 短，体积小，加工制造容易，成本低，并可针对不同的 测量对象，选用特定材料及形状的金属探针，具有可 以测量
半导体材料、
功能材料、导电薄膜的电阻率、面 电阻、型号及击穿电压等多种功能。
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来源：北方有色网
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