一种单片三维(3D)集成电路(IC)装置包括感测层、存储器层和处理层。所述感测层包括多个
碳纳米管场效应晶体管(CNFET)，所述碳纳米管场效应晶体管用至少50种
功能材料功能化以响应于暴露于气体而生成数据。所述存储器层存储由所述多个CNFET生成的数据，并且所述处理层基于由所述多个CNFET生成的数据识别所述气体的一种或多种组分。
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“用于气体感测的系统、装置和方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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