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亚稳态高镁MgZnO固溶合金薄膜激光烧蚀制作方法

1036   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:03:02
亚稳态高镁MgZnO固溶合金薄膜激光烧蚀制作方法属于光学功能材料技术领域。现有技术Mg的掺杂量一般都小于0.33。本发明之亚稳态高镁MgZnO固溶合金薄膜激光烧蚀制作方法属于一种Sol‑Gel法,其特征在于,确定MgxZn1‑xO中的x的值为:0.25≦x≦0.75,按所述x的值确定乙酸和乙酸镁的摩尔比,将所述乙酸锌和乙酸镁溶于有机溶剂,加入与锌离子和镁离子等物质量的乙醇胺,搅拌后得溶胶液;将所述溶胶液旋涂于基片上,低温热处理得凝胶膜;采用激光烧蚀所述凝胶膜,激光功率为5~30W,烧蚀时间为1~1000sec,激光光源出光口与凝胶膜之间的距离为1~50cm,得亚稳态高镁MgZnO固溶合金薄膜。
声明:
“亚稳态高镁MgZnO固溶合金薄膜激光烧蚀制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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