本发明公开了一种带有中间电极的柔性压电传感/驱动两用器件及其制备方法。该柔性压电传感/驱动两用器件包括带有中间电极的柔性压电
功能材料层、侧向引出电极和柔性绝缘封装层；其器件结构由上至下具体布局为：上柔性绝缘封装层、柔性压电功能材料层、左右侧向引出电极、下柔性绝缘封装层。该柔性压电功能材料由沿纵、横阵列布置的微米压电陶瓷柱、柔性中间电极以及聚合物粘接剂组成。该传感/驱动两用器件的制备方法主要包括对压电功能材料的制备方法、侧向引出电极制备与装配方法以及两用器件封装方法。本发明的带有中间电极的柔性压电功能材料，垂直中间电极方向对压电陶瓷柱进行极化，在传感与驱动时有效采用压电陶瓷柱d33压电常数，极大地增强了压电功能材料的传感/驱动敏感度，器件整体结构紧凑、柔韧性好、性能稳定。既能很好地与曲面结构耦合作为应力/应变传感器，亦可输入激励信号进行主动振动抑制驱动器。
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来源：北方有色网
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