一种柔性力热集成传感器，其制作方法是先在柔性衬底上制作叉指电极结构的铂电极，然后制备具有栅线结构的软模具凹模；再制作压电
功能材料，将压电功能材料滴在软模具凹模上，进行刮涂填充，形成栅线内充分填充且栅线外不留膜的结构；再在具有铂电极的柔性衬底上滴加无水乙醇，将刮涂了压电功能材料的软模具凹模按压在铂电极，快速置于烘台上加热，使压电功能材料从软模具凹模中脱离出来粘接于铂电极上；揭去软模具凹模，形成铂电极‑功能材料的叠层结构；将封装胶滴加在铂电极‑功能材料的叠层结构上，自然流平将叠层结构区全部覆盖，极化后得到柔性力热集成传感器结构，能够测量温度和力，具有灵敏度高、成本低、重量轻的优点。
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来源：北方有色网
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