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照明光学单元

1227   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:02:23
一种用于EUV投射曝光设备的照明光学单元(4),具有光阑(23),光阑包括具有离散对称组的辐射透射区域。光阑(23)的形状适配于光瞳分面反射镜(18)的分面形状或辐射源(3)的形状。光阑(23)优选地布置在中间焦平面的区域中。
声明:
“照明光学单元” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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