合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 真空冶金技术

> 照明光学单元

照明光学单元

1230   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:02:23
一种用于EUV投射曝光设备的照明光学单元(4),具有光阑(23),光阑包括具有离散对称组的辐射透射区域。光阑(23)的形状适配于光瞳分面反射镜(18)的分面形状或辐射源(3)的形状。光阑(23)优选地布置在中间焦平面的区域中。
声明:
“照明光学单元” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
真空冶金
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
铜业百科 | 铜及铜合金热处理概述 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(七 ) 2.06亿元“抢滩”固态电池:华域汽车收购上汽清陶49%股权背后的三重逻辑 铜业百科 | 铜合金的分类及合金元素的作用 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法 金属百科 | 锑的历史与发展 芯片巨头美光科技获61亿美元补贴 日产全固态电池试点生产线预计2025年3月投入运营 几秒钟即可充满!韩国研究团队在钠离子电池技术方面取得重大突破 方圆公司赴台技术服务团队凯旋 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(三段炉炼铅法) 冶金百科 | 有色金属冶金基础知识 《钴产业发展报告(2025)》重磅发布--助你穿透行业迷雾,把握战略机遇 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一) 欣旺达在固态电池领域取得突破性进展,预计2025年完成产品开发 新能源产业发展方向明确!全国首部新能源产业促进条例发布 强势上涨!铜价破8万大关,创18年新高 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 四川生态修复带来大变化,废弃矿山变绿洲 萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? 原来他们都是中南大学杰出校友! 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 坐在铜矿上的国家​:“铜矿之国”赞比亚到底有多“壕”? 西安稀有金属材料研究院邀您观看“2022全国管道输送及耐磨材料在矿冶领域应用技术”在线报告会 小知识 | 铝矾土和铝矿石、铝土矿的区别 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 金属材料在芯片工艺上的作用
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门嘉宾
更多+

报告下载

赤泥综合利用研究报告2025
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记