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多晶硅全熔铸锭用坩埚及其制备方法和应用

988   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:02:22
本申请公开了一种多晶硅全熔铸锭用坩埚及其制备方法和应用,属于光伏技术领域。该多晶硅全熔铸锭用坩埚的制备方法,包括下述步骤:1)将坩埚的内底部固定石英砂颗粒;2)将步骤1)制备的坩埚内底部喷涂第一脱膜层,坩埚内侧壁喷涂第二脱膜层;所述第一脱膜层的厚度大于第二脱膜层的厚度。第一脱膜剂和第二脱膜剂均包含氮化硅。本申请的方法制备的坩埚即可以防止多晶硅的氧化,又可以防止多晶硅锭的粘锅,坩埚底部的疏松粗糙表面提供了多种引晶方式,具有石英砂形核、缝隙形核和氮化硅形核,多种引晶并存缩短了多晶铸锭的周期,多晶铸锭的良率高。
声明:
“多晶硅全熔铸锭用坩埚及其制备方法和应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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