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连续制备高纯金属铸锭的方法

1186   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:02:22
本发明涉及一种连续制备重量纯度≥99.999%的金属铸锭的方法。该方法的工艺步骤包括:(1)将重量纯度≥99.999%的金属物料装炉、抽真空至10-3Pa以上;(2)连续进料装置将步骤(1)的物料送入水冷坩埚中;(3)以电磁感应熔炼的方式对水冷坩埚中的金属物料进行熔炼;(4)经步骤(3)熔炼后得到的熔体进入设置在水冷坩埚下方的水冷结晶器中,成型得到高纯金属铸锭。本发明采用水冷坩埚感应熔炼与水冷结晶器成型结合,同时采用连续进料装置,能够实现连续铸锭生产、提高效率,所制备的高纯金属铸锭,具有纯度高,铸锭物理性能好、成材率高、产品规格多样化等优点,满足集成电路对于高端薄膜制备的性能要求。
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“连续制备高纯金属铸锭的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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