本发明为高集成度和实用性的干式
真空泵抽气工艺模拟测试方法和测试系统，通过组建的模拟真空室，集成了气、液、电、磁、热、粉尘、腐蚀性等多种干式真空泵应用环境中常见的元素，使用多种传感器对同时具有温度、湿度、气体成分、实时图像、压力、流量和噪声等信号进行反馈，并通过多个控制系统进行监控，对干式真空泵抽气工艺适应情况进行检验和完善。本发明的测试系统采用严格的污染物收集和接驳处理，并具有危险示警和自动保护功能系统，具有安全性、智能性、绿色环保的特点和良好的可重复性，可以模拟包括输送、物理气相沉积、化学气相沉积、刻蚀、光刻、化工、制药等在内的清洁、轻度污染、中度污染和重度污染真空环境的真空泵抽气工艺环境。
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“干式真空泵抽气工艺模拟测试方法及测试系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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