一种超大型细晶钼平面靶的制备方法，采用纯度＞99.95%的钼粉制得，其中，钼平面靶的长度＞450㎜，宽度＞320㎜，厚度＞75㎜，制备方法是：取钼粉装入胶膜内，静压成型，后置于中频炉，氢气气氛下烧结成板坯后，置入模具中，锻打板坯模具，后置入回火炉，退火，形成细晶组织,精细加工、清洗、干燥后制得钼平面靶。本发明克服了烧结和锻打的工艺缺陷，工艺简单，易工业化生产控制，降低污染，成本低，质量提高，生产效率极大提高。
声明：
“超大型细晶钼平面靶的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
1059
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
