本发明公开了
铝钪旋转靶材及其制备方法，其中制备方法包括以下步骤：烧结、球磨、过筛制备铝钪粉末；预处理不锈钢基体管；使用电弧喷涂方法喷涂合金打底层；在含有合金打底层的不锈钢基体上使用可控气氛冷喷涂方法喷涂铝钪粉末制备旋转靶材，工艺参数为：使用真空机组对喷涂腔体抽取真空，再通入循环保护气氩气，喷嘴进口处工作温度为300～700℃，压力为2～5Mpa，工作气体为氩气，其压力为2.5～4.5Mpa，温度为400～900℃，气体流量为20～50m3/h，喷涂距离为40~60mm，送粉气流量为200～400l/h，送粉量为30～60g/min。通过本发明制备的铝钪旋转靶材组织致密、纯度高、成分均匀，靶材直径和长度不受限制，长度可达到4000mm，厚度为3～15mm，靶材相对密度≥97%，纯度≥99.99%，氧含量≤200ppm。
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来源：北方有色网
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