本发明提供一种球形磨料、制备方法、用途及包含其的蓝宝石研磨液。所述球形磨料由金刚石微粉、
氧化铝粉和氧化硅粉混合烧结而成，将金刚石微粉固结在球形磨料中，增加金刚石切削锐角与蓝宝石晶片接触面积。本发明还公开了一种蓝宝石研磨液，包括上述球形磨料、金刚石磨料、悬浮剂、润滑剂、pH调节剂、润湿剂、分散剂、防锈剂和水。本发明蓝宝石研磨液，能在保证晶片表面质量的前提下，提高研磨效率，降低加工成本。采用本发明蓝宝石研磨液研磨得到的蓝宝石衬底表面粗糙度低、平整度好、无明显划痕。本发明蓝宝石研磨液具有非常良好的应用前景和大规模工业化推广潜力。
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来源：北方有色网
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