提供无需解除下游侧设备的真空就能够更换靶材的离子源。靶材（13）配置在被排气成真空的真空容器（10）内，且通过激光的照射产生离子。具有输送管（17）、小孔（18）、中间电极（19）以及加速电极（20）的输送部将由靶材产生的离子朝与离子源连接的下游侧的设备输送。在更换配置于真空容器（10）内的靶材时，真空密封用盘（24）对输送部进行密封，以将真空容器（10）侧与下游侧的设备侧的真空分离。
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来源：北方有色网
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