本发明公开了一种高钪含量
铝钪合金靶材及其制备方法。其中方法包括：选取金属铝和金属钪，并配料；将金属钪熔化，然后将金属铝分多次逐步加入到金属钪中熔炼，多次熔炼后冷却得到铝钪合金；将所述铝钪合金进行球磨，真空干燥得到合金粉，然后经预压制和真空烧结得到铝钪合金靶坯；将得到的铝钪合金靶坯进行热变形加工，得到铝钪合金靶材，所述热变形加工包括热锻、热轧、以及精加工。采用本发明使得铝钪合金靶材组织和化学成分更均匀，相对密度更高，达到99.0％以上，晶粒尺寸更细小，延展性更高；采用本发明还减少了缩孔、疏松缺陷；节省了原料成本；解决了合金脆性大，不能加工靶材的难题；可满足大规模集成电路用配线材料的需求。
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来源：北方有色网
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