本发明提供了一种钽、铌管状靶材生产方法，包括以下步骤：在选定的钽或铌粉末中加入粘结剂混匀进行粘结并装入冷压设备冷压成管状锭材；采用真空烧结炉对成型的管状锭材进行烧结；采用管材轧制机对烧结后的管状锭材进行多道次轧制，以使管状锭材的外径和内径分别达到预设尺寸；对轧制后的管状锭材进行真空热处理并结晶退火；对结晶退火后的管状锭材的内外表面进行机械加工，以使管状锭材的外径和内径分别达到最终成品尺寸。采用本发明技术方案的钽、铌管状靶材生产方法生产的钽、铌管状靶材内部组织一致性较好，保证溅射膜的质量；同时靶材成才率高，有效节约生产成本。
声明：
“钽、铌管状靶材生产方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
1038
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
