一种减少氮化
铝晶体生长前后热应力的碳化钽复合层的制备方法及其使用方法，它属于减少氮化铝晶体生长前后热应力的方法领域。本发明要解决的技术问题为有效控制氮化铝晶体生长前后热应力。本发明按照重量份数分别称量TaC粉、Ta粉，置于球磨机中球磨，得到混合粉料进行冷等静压成型，然后放入钨模具的热压烧结炉内，以20‑30MPa的压力进行真空烧结处理，然后降温冷却至室温后表面均匀铺洒称量好的铝粉，然后置于烧结炉中，以20‑30MPa的压力进行真空热压烧结，保温完成后，充入高纯氮气，取消载荷，降温后进行氮化反应后降温冷却至室温，得到碳化钽复合氮化铝层材料再次进行高温碳化反应得到复合层。本发明用于氮化铝晶体。
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来源：北方有色网
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